MEMS Sensors

MEMS-Sensoren – Technologie für eine intelligente Welt

Der ?Bosch-Prozess“ hat das Leben, wie wir es heute kennen, ma?geblich beeinflusst. MEMS-Sensoren, die mit genau dieser Technologie produziert werden, sind ein elementarer Bestandteil heutiger und zukünftiger Fahrzeugsicherheit. Unsere Produkte haben auch den Alltag durchdrungen. Drei von vier Smartphones beinhalten Bosch-Sensoren. Bosch ist Weltmarktführer bei MEMS-Sensoren und hat schon mehr als 10 Milliarden Sensoren produziert.

MEMS Sensoren

Revolution?re Technologie von Bosch

Mit der Erfindung des ?Bosch-Prozesses“ pr?gten Bosch Forscher einen ganzen Gesch?ftszweig im Bereich der Sensorik. 1992 meldeten Andrea Urban und Franz L?rmer einen Technologieprozess zum Patent an, der es durch eine zyklische Abfolge von ?tz- und Passivierungsschritten erm?glicht, hochpr?zise Strukturen in einen Silizium-Wafer zu ?tzen. Somit konnten erstmals beliebige Geometrien in Silizium strukturiert und damit neue Sensoren hergestellt werden. Die 1994 patentierte Technologie diente als Grundlage für den Aufbau des MEMS-Sensorgesch?fts (Micro-Electro-Mechanical Systems) bei Bosch.

50fach

Verkleinerung der Sensorengr??e

100fach

Reduzierung des Energieverbrauchs von Sensoren

Sensoren verbessern Lebensqualit?t

Die damit produzierten Beschleunigungssensoren wurden mit der Einführung des Airbags zu einem elementaren Bestandteil heutiger Fahrzeugsicherheit. Bereits ein Jahr sp?ter folgte der Drehratensensor und erm?glichte die Einführung der elektronischen Stabilit?tskontrolle (ESP) auf breiter Front: in jedem modernen Automobil sind heutzutage mehr als 50 MEMS-Sensoren verbaut. Aktuell erfordert das automatisierte Fahren hochgenaue Inertialsensoren mit bisher unerreichter Stabilit?t und Pr?zision. Auch dieser Herausforderung stellt sich Bosch.

Neben der Anwendung in der Automobiltechnik haben MEMS-Sensoren auch den Alltag durchdrungen. Drei von vier Smartphones beinhalten Bosch-Sensoren für die Drehung der Anzeige, zur Orientierung in Virtual-Reality-Anwendungen, für Navigation und viele weitere Anwendungsf?lle. Der stetige technologische Fortschritt und der Einfluss von innovativen Sensordesigns kann mit einer Gr??enreduktion der Sensoren um den Faktor 50 und einer Reduktion des Stromverbrauchs um den Faktor 100 quantifiziert werden.

Anwendungsbereiche

Smart Home

Smart Factory

Autonomes Fahren

Smart Devices

Weltmarktführer in Sensortechnologie

Bosch ist Weltmarktführer bei MEMS-Sensoren und hat bis 2018 insgesamt mehr als 10 Milliarden Sensoren produziert. Gro?e Wachstumsraten verspricht die Anwendung in den Bereichen Internet der Dinge und Industrie 4.0. Mit neuen Technologien und immer raffinierteren Designs liefern Forscher die Grundlage für zukünftige Produktgenerationen und Produktklassen. Durch die Steigerung der Integrationsdichte sowie neuen Methoden der Signalverarbeitung wie maschinelles Lernen oder künstliche Intelligenz extrahieren wir noch mehr Informationen aus den Sensorsignalen und erh?hen damit die Funktionalit?t.

10 Milliarden

Anzahl der von Bosch produzierten MEMS-Sensoren bis 2018

Unser Ziel ist es, m?glichst viele Gegenst?nde des Alltags durch Sensorik mit Kontextbewusstsein und situationsgerechter Intelligenz aufzuwerten
– ganz nach dem Bosch-Motto ?Technik fürs Leben“.

Zusammenfassung

Bosch hat eine neue Generation von Sensoren hervorgebracht, die unser allt?gliches Leben, wie wir es kennen, ver?ndert haben. Im n?chsten Schritt wird die Technologie verbessert, um neue Anwendungsgebiete in einer Economy of Things zu erschlie?en.

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